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1.可用于对不同形状尺寸的基片进行喷胶.喷胶尺寸要求达到3米。
2.可对不同粘度的胶进行喷涂,供胶分辨率在15uL以内
3.可对大深宽比结构进行侧壁涂胶,得到厚度均匀的胶膜。
4.喷胶均匀性要求:单片表面≤±10%,片间为≤±10%。
5.计算机系统控制工艺参数。
6.可手动卸载基片或机械手卸载基片。
7.喷胶室易清洗。
8.供胶流速和流量可编程。
9供胶回吸量可调节。
10.适用于所有光刻胶和聚合物。
11.基片可对准。
12、带自动清洗功能。
发布时间:2020-07-22
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